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1200℃預(yù)加熱滑動雙溫區(qū)/多溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

產(chǎn)品應(yīng)用：PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。

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預(yù)加熱滑動雙溫區(qū)/多溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

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    • 商品名稱: 1200℃預(yù)加熱滑動雙溫區(qū)/多溫區(qū)PECVD系統(tǒng)
    • 商品編號: 1034429634549997568

    產(chǎn)品應(yīng)用：PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。

    銷售熱線：15122725930 

     

    產(chǎn)品應(yīng)用：

    PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。

    產(chǎn)品組成：

    PECVD系統(tǒng)配置：

    1.1200度開啟式雙溫區(qū)真空管式爐

    2.滑動系統(tǒng)分為手動、電動滑動，并配置管內(nèi)測溫系統(tǒng)。

    3.預(yù)加熱開啟式管式電爐

    4.等離子射頻電源

    5.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

    6.真空系統(tǒng)（可選配中真空或高真空）  

    產(chǎn)品特點：

    生長溫度低；沉積速率快；成膜質(zhì)量好，適用范圍廣，設(shè)備簡單。

    關(guān)鍵詞:
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    郵   箱： CTJZH@CTJZH.COM
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    聯(lián)系地址： 天津北辰科技園區(qū)雙川道11號

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